送風方案的選擇
新建工程應根據潔淨室的麵積、淨高、位置及消聲、減振等要求，經綜合技術經濟比較後，確定采用集中式淨化空調係統或分散式淨化空調係統作為送風方案。一般情況下，麵積較大，淨高較高、位置集中及消聲、減振要求嚴格的潔淨室應采用集中式係統;反之，可采用分散式係統。
改建工程除應符合上述原則外，可根據工程的具體情況作不同的處理。原有建築內設有集中式空調係統時，可在空調係統內集中增設中效過濾器和高效過濾器或在送風口處增設高效過濾器，並且用提高風機轉速或更換風機的方法，提高風機的風量和風壓，組成集中式淨化空調係統。也可在室內增設局部淨化設備，組成分散式淨化空調係統。
原建築內未設空調係統時，可增設集中式淨化空調係統;也可增設淨化空調器或小型空調器和局部淨化設備，組成分散式淨化空調係統。
淨化方案
1、全室淨化
以集中淨化空調係統，在整個房間內造成具有相同潔淨度環境的淨化處理方式，叫全室淨化。這是潔淨技術中最早發展起來的一種方式，並且現在也仍然被采用。這種方式適合於工藝設備高大，數量很多，且室內要求相同潔淨度的場所。但是這種方式投資大、運行管理複雜、建設周期長。
2、局部淨化
以淨化空調器或局部淨化設備(如潔淨工作台、棚式垂直層流單元、層流罩等)，在一般空調環境中造成局部區域具有一定潔淨度級別環境的淨化處理方式叫局部淨化。這種方式適合於生產批量較小或利用原有廠房進行技術改造的場所。目前，應用最廣泛的是全室淨化與局部淨化相結合的淨化處理方式，這是潔淨技術發展中產生的淨化方式，它既能保證室內具有一定潔淨度，又能在局部區域實現高潔淨度環境，從而達到既滿足生產對高潔淨度環境的要求，又節約能源的雙重目的。例如，需要100級潔淨度的操作工段，當生產批量較小時，隻要在潔淨度較低的亂流潔淨室內，利用潔淨工作台或層流罩等局部淨化設備，就能實現全室淨化與局部淨化相結合的淨化方式。
3、潔淨隧道
以兩條層流工藝區和中間的亂流操作活動區組成隧道形潔淨環境的淨化處理方式叫潔淨隧道。這是全室淨化與局部淨化相結合的典型，是目前推廣采用的淨化方式，也被稱之為第三代淨化方式。
按照組成潔淨隧道的設備不同，潔淨隧道可分為以下幾種形式。
(1)台式潔淨隧道
這種形式的潔淨隧道是將潔淨工作台相互連接在一起，並取消中間的側壁，組成生產需要的隧道型生產線。當工藝要求垂直層流時，可選用垂直層流工作台。當工藝要求水平層流時，則選用水平層流工作台。這種淨化方式較全室淨化更易保證局部空間的高潔淨度，並由於工作台相互連接，可以減少或防止交叉汙染。此外，對建築的要求比較簡單，隻要求具備亂流潔淨室的環境即可。其缺點是潔淨工作台的尺寸固定，使操作麵缺乏足夠的靈活性，工藝設備必須適應工作台的尺寸，調整起來也不大方便。
(2)棚式潔淨隧道
這種形式的潔淨隧道是將潔淨棚，即棚式垂直層流單元串聯在一條生產線上所組成的。根據工藝要求，潔淨棚的麵積可以變化，空氣可以全部為室內循環式，也可連通集中式淨化空調係統，吸取部分新風。棚式潔淨隧道適合於工藝設備較大的場所。當工業管道可以明裝時，采用圖a的形式，當工業管道必須暗裝時，采用圖b的形式。
(3)罩式潔淨隧道
這種形式的潔淨隧道是將層流罩，即罩式垂直層流單元串聯在一條生產線上所組成的。由於層流罩的進深比潔淨棚小，隻適用於工藝設備較小的場所。空氣循環方式與棚式潔淨隧道和台式潔淨隧道相同，是目前采用較多的一種潔淨隧道。
(4)集中送風式潔淨隧道
這種形式的潔淨隧道是由集中式送風係統的滿布高效過濾器的靜壓箱所組成的。層流工作區的寬度可依照工藝提出的要求確定，而不像台式、棚式和罩式潔淨隧道那樣，因局部淨化設備的尺寸而限製層流工作區的寬度，設計可以更為靈活。采用這種形式時，回風可以通過技術夾道，也可像圖這樣，在亂流操作活動區設置地溝。此外，工業管道可布置在工作區的沿壁板一側，排風管接至地溝。
潔淨隧道的特點如下：
(1)在隧道內造成不同的潔淨度，從而充分利用了不同潔淨氣流的特性，最大限度地滿足工藝要求。一般情況下，隧道內的兩側是高潔淨度的層流工作區，中間是亂流的操作活動區。工藝區連成一條線，使用方便，人員的活動也不會引起交叉汙染。
(2)由於在隧道內減少了層流麵積，基建費用和運行費用要比全室淨化的垂直層流潔淨室節約三分之一以上。亂流活動操作區的淨高較層流工藝區高得多，能滿足人員舒適感的要求。
(3)技術夾道既可作為回風道，又可布置各種工業管道，安裝工藝輔助設備。組成潔淨隧道的局部淨化設備(潔淨工作台、潔淨棚和層流罩等)、工業管道以及工藝輔助設備的維修均可在技術夾道內進行。由於技術夾道相對於潔淨隧道為負壓，因此，維修工作不會引起潔淨隧道的汙染，維修工作可在不停止工藝生產的情況下進行。
潔淨隧道所需的局部淨化設備、頂棚、壁板、回風口及門窗等構件，可以標準化、模數化，由專業工廠加工生產，在現場組裝。同時，潔淨隧道可以迅速拆裝，重新組合，為工藝變化提供了方便。
(4)潔淨隧道可以按一定規模配置淨化空調係統，因此空調係統可通用化、係列化，從而可以大大縮短設計周期。
(5)一般情況下，潔淨隧道對於建築方麵的要求比較簡單，隻要具備亂流潔淨室的環境，即可滿足要求。
4、潔淨管道
把需要超高潔淨度級別(如1級或10級)的工藝生產線，放在與室內空氣環境隔絕的管道中的淨化處理方式，叫潔淨管道。這種方式要求工藝生產必須是自動化的，高效過濾器必須是以0.1μm塵粒為標準的才能實現超高潔淨度。此外，這種方式由於被淨化的是管道中的空氣，送、回風量很小，可以大幅度地節約能量，是潔淨技術的發展方向，也被稱為第四代淨化方式。
以上介紹的淨化處理方案需要根據具體情況確定。
目前技術上發展已經比較成熟的是全室淨化、局部淨化(包括全室淨化和局部淨化相結合)以及潔淨隧道三種淨化處理方式，工程設計中應結合具體情況選擇其中一種或兩種淨化方式作為設計方案。
在滿足工藝要求的條件下，應盡量選用局部淨化方式。局部淨化采用局部淨化設備，在一般空調環境中實現。由於局部淨化設備一般均由專業工廠生產，設備質量高，又可加快現場施工速度，在改建工程中可以優先考慮這種方案。
當隻用局部淨化方式不能滿足工藝要求時，可采用局部淨化與全室淨化相結合的淨化方式作為設計方案。
當上述淨化方式均不能滿足工藝要求時，才選用全室淨化的淨化方式作為設計方案。由於這種方式要造成全室具有相同的潔淨度，特別是潔淨度級別高時，初投資和運行費用都很高，因此，潔淨室的麵積應嚴格加以控製。